ORANSAL BASINÇ REGÜLATÖRLERİ

1. KaoLu’nun Elektronik Vakum Regülatörünün Tanıtımı

Mekanik kavrama ve kapalı boşlukların vakum basıncı kontrol süreçlerinde, vakum derecesinin hassas ayarı ve sabit kontrolü için doğrudan bir düzenleme valfi kullanılması gerekmektedir. KaoLu QKL serisi, elle çalıştırılan ve ayarlanan bir vakum düzenleme valfidir.

Nominal Vakum Ayar Aralığı: Mutlak basınç olarak $1.3 \text{ kPa} \sim 100 \text{ kPa}$ (gösterge basıncı olarak $-100 \text{ kPa} \sim -1.3 \text{ kPa}$) aralığındadır.

Bu makale, KaoLu’nun Elektronik Vakum Regülatörünün vakum derecesi kontrol kararlılığını ölçmek amacıyla yapılan kısa süreli değerlendirme testini detaylandırmaktadır.

2. KaoLu’nun Elektronik Vakum Regülatörünün Çalışma Prensibi

KaoLu’nun Elektronik Vakum Regülatörünün çalışma prensibi, mekanik dengeye dayanır:

1. Ayarlama: El çarkı saat yönünde döndürüldüğünde, ayar yayı kuvveti diyaframı ve ana valfi aşağı doğru iter. Bu, VAC (Vakum Kaynağı) tarafı ile SET (Ayarlanan Vakum Odası) tarafının birbirine bağlanmasını sağlar ve SET tarafındaki vakum derecesini düşük basınç yönünde değiştirir.
2. Dengeleme: SET tarafındaki vakum basıncı, hava yolu aracılığıyla diyaframın üst kısmına etki eden vakum odasına girer ve ayar yayının sıkıştırma kuvveti ile dengelenir, böylece SET tarafındaki vakum basıncı sabit tutulur.
3. Vakum Düşüşü: Eğer SET tarafındaki hava basıncı ayarlanan değerden daha düşükse (yani vakum çok derinleşirse), sıkıştırma yayı kuvveti ve SET tarafındaki basınç dengesi bozulur. Diyafram yukarı çekilir, ana valf çekirdeği kapanır, hava emme valf çekirdeği açılır ve hava (dışarıdan) SET tarafına akar.
4. Sabitleme: Sıkıştırma kuvveti ve SET tarafındaki hava basıncı tekrar dengelendiğinde, SET tarafındaki vakum basıncı ayarlanan değerde sabit tutulur.

3. KaoLu’nun Elektronik Vakum Regülatörünün İşlevini İncelemek

KaoLu’nun Elektronik Vakum Regülatörünün performans göstergelerini değerlendirmek için kurulan test cihazı, ayar aralığını ve kontrol kararlılığını doğru bir şekilde ölçmek üzere tasarlanmıştır.

Test Cihazı Bileşenleri ve Özellikleri:

Bileşen	Özellik
Vakum Odası	Çok düşük sızıntı oranına sahip kapalı bir oda. Yalnızca vakum göstergesi ve düzenleme valfi için iki arayüze sahiptir.
Vakum Derecesi Ölçümü	Yüksek hassasiyetli, ince film kapasitörlü vakum göstergesi kullanılır. Doğruluğu herhangi bir vakum derecesinde $\pm 0.25\%$ olup, ölçüm aralığı $1 \text{ Torr} \sim 1000 \text{ Torr}$’dur.
Veri Toplama	Yüksek hassasiyetli veri toplayıcı ve destekleyici yazılım kullanılır. Kapasitans vakum göstergesinin doğruluğunu tam olarak kullanmak için örnekleme aralığı $4 \text{ s}$ olarak ayarlanmıştır.
Kirlilik Önleme	Vakum pompasının yağının boru hattını ve valfi kirletmesini önlemek amacıyla, sistem kuru bir pompa ile donatılmıştır.

4. Sonuç

Yukarıdaki kısa süreli değerlendirme test sonuçlarından aşağıdaki sonuçlar çıkarılabilir:

1. Kontrol Kararlılığı: Tam vakum aralığında, vakumun sabit dalgalanması $\pm 0.5\%$ ‘den daha iyidir.
2. Hız: Ayar ve kontrol süresi, vakum odasının hacminden etkilenmektedir; hacim ne kadar küçük olursa, vakum derecesi o kadar hızlı stabilize olmaktadır.
3. Ayar Aralığı: KaoLu’nun Elektronik Vakum Regülatörü, nominal teknik gösterge olan $-100 \text{ kPa}$’ya (Atmosfer basıncının altındaki en derin vakuma) ulaşmaktadır.